Pyrex玻璃凹槽刻蚀及槽底粗糙度研究

• 作者: 侯占强 吴学忠 江平 肖定邦
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: Pyrex玻璃 湿法腐蚀 微加速度计 机械掩膜
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 62-64
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1709字
• 语种: 中文

摘要

介绍了用于电容式微传感器的玻璃基底加工方法.目前玻璃刻蚀掩膜层的制作工艺复杂,实验中采用机械掩膜方法,较简单地腐蚀出玻璃凹槽,没有脱膜或钻蚀现象.同时对凹槽底面粗糙度进行了研究,并提出了改善方法,得到粗糙度为(Ra=1.5 nm)的玻璃底面,有利于制作平整的电极.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴学忠	国防科技大学机电工程与自动化学院	70	934	18.0	28.0
2	肖定邦	国防科技大学机电工程与自动化学院	28	149	8.0	11.0
3	侯占强	国防科技大学机电工程与自动化学院	13	72	5.0	7.0
4	江平	国防科技大学机电工程与自动化学院	4	24	3.0	4.0