用于MEMS红外传感器的集成低噪声CMOS接口电路设计

• 作者: 姚镭 李铁 熊斌 王跃林 郝跃国
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: CMOS接口电路 单片集成MEMS 斩波技术 红外传感器
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 2203-2206
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.14
• 字数: 3103字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.10.014

摘要

实现了一种应用于采集MEMS红外传感器微弱信号的低噪声CMOS接口电路.该电路应用了斩波技术(CHS),对斩波技术中抑制低频噪声的效率分析表明其可以有效降低低频噪声.利用苏州和舰科技(HJTC)的商用0.18 μm CMOS工艺流程制作的试样芯片.测试结果证实了此电路的工作原理.整个斩波放大系统的增益为84.9 dB,带宽160 Hz,等效输入噪声87 nV/rtHz.