微管道内剪应力传感器的研制与优化

• 作者: 丁英涛 仲顺安 谢君堂
• 来源期刊: 北京理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 剪应力传感器 多晶硅 多孔硅
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 光学与电子工程
• 页码范围: 251-254
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 2386字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0645.2007.03.016

摘要

基于微机电系统(MEMS)微加工工艺,开发了一种能够测量微管道内壁面剪应力的热式传感器,以多晶硅为热敏元件,在低阻硅衬底上形成多孔硅膜隔离硅衬底损耗. 利用水浴加热方法测量得到电阻温度系数为0.21%/℃. 采用数值模拟的方法对剪应力传感器进行了热分析,探讨了提高剪应力传感器灵敏度和线性度的方法,为优化其设计和使用提供了理论基础. 数值模拟结果表明:随着微管道深度的增加,传感器灵敏度提高,但线性度下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	仲顺安	北京理工大学信息科学技术学院电子工程系	54	185	7.0	10.0
2	丁英涛	北京理工大学信息科学技术学院电子工程系	17	55	5.0	6.0
3	谢君堂	北京理工大学信息科学技术学院电子工程系	5	29	3.0	5.0