微管道内的剪应力传感器

• 作者: 丁英涛 姚朝晖 葛其明 郝鹏飞
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微管道 剪应力 传感器
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 713-716
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2765字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2005.04.008

摘要

制作了一个微管道内的剪应力传感器,该传感器通过热传递的原理工作.采用硅微加工技术制作微管道,在玻璃上通过溅射方法形成钛铂合金热膜,最后将两者键合封装,形成埋置了热膜的封闭微管道.测量了热膜的电阻温度系数,确定了热膜处于不同输入功率下的过热比.对该剪应力传感器进行了方波实验,确定其工作在不同过热比下的时间常数.对传感器进行实验标定,得到不同进出口压差下,微管道内的壁面剪应力大小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚朝晖	清华大学工程力学系	49	467	12.0	19.0
2	郝鹏飞	清华大学工程力学系	48	384	11.0	18.0
3	葛其明	清华大学工程力学系	3	16	2.0	3.0
4	丁英涛	清华大学工程力学系	8	41	4.0	6.0