MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测

• 作者: 孙海浪 张璇 田于逵 谢华 金磊
• 来源期刊: 实验流体力学
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 热膜 壁面剪应力 传感器 微弱信号检测
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: MEMS微传感器应用基础研究专栏
• 页码范围: 39-43
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2786字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11729/syltlx20170016

摘要

MEMS热膜式壁面剪应力传感器的输出信号是带有基础电压的微弱电压信号,无法通过放大器直接放大的方法实现高精度测量.文章提出在输出信号放大前增加信号平衡环节,在保留有效信号的前提下减小基础电压,再通过放大的方法实现其高精度测量,有效解决了MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测的难题.文章介绍了MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测的技术方案、关键技术、测试检验及试验应用实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田于逵	中国船舶科学研究中心水动力学国防科技重点实验室	28	76	5.0	8.0
2	谢华	中国船舶科学研究中心水动力学国防科技重点实验室	24	131	6.0	11.0
3	孙海浪	中国船舶科学研究中心水动力学国防科技重点实验室	7	9	2.0	3.0
4	张璇	中国船舶科学研究中心水动力学国防科技重点实验室	5	0	0.0	0.0
5	金磊		1	0	0.0	0.0