水下MEMS壁面剪应力传感器标定不确定度分析研究

• 作者: 孙海浪 张楠 张璇 沈雪 田于逵 谢华
• 来源期刊: 实验流体力学
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS传感器 壁面剪应力 标定 压力梯度法 扁平水槽
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS微传感器应用基础研究专栏
• 页码范围: 66-71
• 页数: 6页
• 分类号: TV131|TH823
• 字数: 4337字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11729/syltlx20170019

摘要

针对MEMS壁面剪应力传感器进行了标定及其不确定度分析工作.标定基于压力梯度法,使用扁平校验水槽作为主要的试验装置.测量不同壁面剪应力下的MEMS输出电压信号,通过最小二乘拟合可获得标定系数.反复进行壁面剪应力及电压测量,同时查找相关产品说明书获得壁面剪应力及标定系数的不确定度.试验结果表明,剪应力测量的相对扩展不确定度小于7%,且外流速度越大,剪应力测量的不确定度越小,因此扁平校验水槽能够提供较高精度的剪应力输入;电压测量的相对扩展不确定度小于7%,且外流速度越大,电压测量的不确定度越小,因此传感器能够可靠地用于流体壁面剪应力的测量;标定曲线具有合理的形态且拟合相关性较高,因此标定公式具有较好的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田于逵	中国船舶科学研究中心水动力学国防科技重点实验室	28	76	5.0	8.0
2	谢华	中国船舶科学研究中心水动力学国防科技重点实验室	24	131	6.0	11.0
3	张楠	中国船舶科学研究中心水动力学国防科技重点实验室	43	661	15.0	25.0
4	沈雪	中国船舶科学研究中心水动力学国防科技重点实验室	7	10	2.0	3.0
5	孙海浪	中国船舶科学研究中心水动力学国防科技重点实验室	7	9	2.0	3.0
6	张璇	中国船舶科学研究中心水动力学国防科技重点实验室	5	0	0.0	0.0