热敏式壁面剪应力微传感器技术研究进展

• 作者: 姜澄宇 孙宝云 邓进军 马炳和
• 来源期刊: 实验流体力学
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 热敏 壁面剪应力 微传感器 测试技术
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: MEMS微传感器应用基础研究专栏
• 页码范围: 26-33,43
• 页数: 9页
• 分类号: TH823|TP212
• 字数: 3006字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11729/syltlx20170022

摘要

基于MEMS技术的热敏式微传感器为壁面剪应力的测量提供了重要手段.本文介绍了国内外热敏式壁面剪应力微传感器技术的研究发展现状,重点从硅基和柔性聚合物基2种结构角度,对其工作原理以及不同热敏式微传感器的结构、关键工艺和性能测试进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马炳和	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	33	167	7.0	11.0
2	姜澄宇	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	65	883	18.0	28.0
3	邓进军	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	18	57	4.0	6.0
4	孙宝云	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	1	2	1.0	1.0