浮动电容式剪应力微传感器结构设计解析模型

• 作者: 丁光辉 苑伟政 邓进军 马炳和
• 来源期刊: 实验流体力学
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式 剪应力 结构设计 解析模型 性能指标
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS微传感器应用基础研究专栏
• 页码范围: 53-59
• 页数: 7页
• 分类号: TH823
• 字数: 4215字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11729/syltlx20170004

摘要

为提高设计水平和效率,建立了浮动电容式剪应力微传感器结构设计解析模型.该解析模型明晰了微传感器探头结构参数与传感器性能指标之间的关系.针对微传感器量程、固有频率、非线性度、灵敏度和分辨率等指标需求,能够更有针对性地快速得到优化传感器结构方案.结合设计案例,给出了微传感器探头结构的设计方法与流程,设计研制的传感器测试实验结果与解析模型的设计结果相符合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马炳和	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	33	167	7.0	11.0
2	苑伟政	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	70	351	10.0	14.0
3	邓进军	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	18	57	4.0	6.0
4	丁光辉	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0