MOCVD系统的气体流量自动控制研究

• 作者: 张伟 王涛 高爱华
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金属有机物化学气相沉积 质量流量控制器 可编程序控制器 触摸屏
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 56-58
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 字数: 1599字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2007.01.016

摘要

研究了金属有机物化学气相沉积(MOCVD)系统中气体流量的自动控制方法.研究分析了基于质量流量控制器、可编程序控制器和触摸屏的自动控制系统气体流量自动控制方法.该方法提高了MOCVD系统的自动化控制水平,确保了工艺的重复性和稳定性,使得MOCVD系统气体流量控制水平有显著提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高爱华	西安工业大学光电工程学院	51	247	8.0	12.0
2	张伟	西安工业大学光电工程学院	28	128	7.0	10.0
3	王涛	西安工业大学光电工程学院	8	7	1.0	2.0