基于低速面阵CCD的正弦相位调制干涉测量

• 作者: 何国田 唐锋 王向朝
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 干涉 正弦相位调制 低速CCD 表面形貌检测
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 265-271
• 页数: 7页
• 分类号: TH744.3|TP212|TN247
• 字数: 3525字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.02.024

摘要

正弦相位调制(SPM)干涉测量技术用于表面形貌测量时,需要帧速高于300 frame/s的图像传感器,同时要求调制信号频率与图像传感器帧速成确定的整数倍关系.提出一种基于低速CCD(30 frame/s)的帧速可调的高速图像传感技术,通过控制每帧像素总数提高CCD帧速,研制出一种高帧速图像传感器,帧速可达300～1600 frame/s,且每帧大小连续可调.将该CCD传感器用于正弦相位调制干涉泰曼-格林干涉仪,测量镀膜玻璃板表面形貌,当CCD图像传感器的帧速与调制信号频率呈16,8,4倍的关系时,得到玻璃板表面形貌的轮廓平均算术偏差Ra小于1.8 nm,重复精度优于3 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何国田	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	13	69	5.0	8.0
5	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	170	1628	23.0	35.0
6	唐锋	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	19	47	4.0	6.0