利用平滑层减小极紫外多层膜基底粗糙度的方法

• 作者: 张立超 金春水
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 极紫外 多层膜 高频粗糙度 平滑层 功率谱密度
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 27-29,42
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2958字
• 语种: 中文

摘要

在极紫外多层膜反射镜中,基底高频粗糙度是影响多层膜反射率的重要因素.通过在粗糙基底上镀制平滑层薄膜,可以有效降低基底粗糙度.叙述了平滑层减小多层膜基底粗糙度的原理,研究了不同镀膜工艺条件下平滑层对基底粗糙度减小效果的影响.结果表明,当工艺参数选择合适时,在粗糙基底上镀制平滑层,可以减小基底粗糙度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张立超	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	31	306	10.0	16.0
5	金春水	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	56	202	9.0	11.0