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摘要:
介绍了微机械加工技术的现状及其发展趋势.
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 微机械加工技术的现状及其发展趋势(下)
来源期刊 机电一体化 学科 工学
关键词 微机械(微电子机械系统) 制造技术 微细加工技术 微机械加工技术
年,卷(期) 2007,(6) 所属期刊栏目 学术·论文
研究方向 页码范围 79-81
页数 3页 分类号 TP3
字数 3628字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1007-080X.2007.06.023
五维指标
传播情况
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引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
微机械(微电子机械系统)
制造技术
微细加工技术
微机械加工技术
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
机电一体化
月刊
1007-080X
31-1714/TM
大16开
上海市长乐路746号
4-565
1995
chi
出版文献量(篇)
3989
总下载数(次)
13
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