基于双光栅尺的高速高精度位移测量方法

• 作者: 刘延杰 孙立宁 节德刚 蔡鹤皋 陈智超
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 位移测量 双光栅尺 切换合成 FPGA
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1077-1083
• 页数: 7页
• 分类号: TH822
• 字数: 4308字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.07.014

摘要

提出了一种基于双光栅尺的高速高精度位移测量方法.在分析光栅尺测量原理的基础上,探讨双光栅尺信号的切换合成;通过对莫尔条纹电子细分计数脉冲切换误差的分析,研究减小切换合成误差的方法;采用可编程逻辑器件FP-GA设计信号处理电路,并通过逻辑、时序仿真,验证了本方法的可行性.实验结果表明:此方法在光栅尺移动速度》1m/s时,具有10 nm分辨率,可满足新一代运动定位系统对高速高精度位移测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡鹤皋	哈尔滨工业大学机器人研究所	233	4809	37.0	57.0
2	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	379	7003	43.0	61.0
3	陈智超	哈尔滨工业大学机器人研究所	19	267	8.0	16.0
4	刘延杰	哈尔滨工业大学机器人研究所	28	433	11.0	20.0
5	节德刚	哈尔滨工业大学机器人研究所	4	265	4.0	4.0