微等离子体及其应用

• 作者: 宁兆元 张树宇 梁荣庆 辛煜
• 来源期刊: 物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 低温等离子体物理学 微等离子体 综述 大气压 表面处理
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 物理学和高新技术
• 页码范围: 771-776
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 4647字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0379-4148.2007.10.007

摘要

微等离子体已成为近年来国际上低温等离子体研究的热点课题之一.微等离子体是被限制在一个有限的空间范围内(尺度为毫米量级甚至更低)的等离子体,它通常能够运行在大气压条件下,它的低功耗、高密度、高稳定等特性以及其小巧、经济、便携等优势,为其在紫外光源的获得、微化学分析系统、生物医学、材料表面改性和加工、环境污染物的处理等领域提供了广泛的应用空间.文章对微等离子体及其应用进行了综述,介绍了各种微等离子体源的产生方法,以及它们在不同领域的研究和应用情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宁兆元	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	70	528	12.0	18.0
2	辛煜	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	38	176	8.0	10.0
3	张树宇	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	1	6	1.0	1.0
7	梁荣庆	复旦大学现代物理研究所	7	29	3.0	5.0