利用五帧相移算法进行纳米台阶高度的表征

• 作者: 傅星 胡小唐 胡春光 郭彤 陈津平
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 纳米计量 台阶标准 相移干涉术 Hariharan算法 软件调平
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 302-305
• 页数: 4页
• 分类号: TB921
• 字数: 2850字
• 语种: 中文

摘要

描述了一种用于纳米级台阶高度表征的相移显微干涉测量方法,它被广泛用于高精度的表面侧量上.系统采用集成了高分辨力(0.7 nm)电容传感器的纳米定位器实现移相、健壮的Hariharan五帧相移算法,利用ISO5436-1:2000国际标准对纳米台阶高度结构进行了评价.结果表明,该方法具有无损、快速和易于在晶片上进行的特点.系统测量的精度在纳米量级,重复性在亚纳米量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
3	郭彤	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	46	370	11.0	17.0
4	胡春光	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	37	333	10.0	16.0
5	陈津平	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	30	267	10.0	15.0