Ag溅射参数对FePt/Ag薄膜取向生长的影响

• 作者: 范九萍
• 来源期刊: 山西师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 化学
• 关键词: FePt/Ag双层膜 溅射参数 正交实验
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 化学
• 页码范围: 77-79
• 页数: 3页
• 分类号: O614
• 字数: 2074字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-4490.2007.01.020

摘要

采用有交互作用的正交实验方法对磁控溅射法在玻璃基片上制备FePt/Ag纳米双层膜Ag底层的溅射参数进行研究.通过直观分析,方差分析和XRD图分析,可以选出Ag底层诱导FePt层取向生长的最佳溅射条件,为FePt磁性层性能的进一步研究应用奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范九萍	山西师范大学化学与材料科学学院	9	4	1.0	1.0