Bimorph结构微热执行器的节点分析方法

• 作者: 李伟华 黄庆安 黎仁刚
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: Bimorph结构电热微执行器 节点分析法 等效质量
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 研究通讯
• 页码范围: 728-733
• 页数: 6页
• 分类号: TN402
• 字数: 3787字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2007.04.029

摘要

MEMS系统设计的节点分析法已成功应用于机电耦合器件的仿真,且已表明是一种简单实用的方法.本文在已有静态模型的基础上,通过对传热行为的分解以及引入等效质量,建立了Bimorph结构热执行器的动态节点模型.同时选取在电子行业得到普遍应用的电路仿真软件SPICE作为模型仿真平台,并将建立的节点分析模型应用于电路仿真平台.此模型数值实验证明,此方法和有限元分析软件ANSYS的仿真结果吻合较好,而且计算效率高,可在实际器件设计中作为参考.