压印对正系统中标记图像几何畸变的校正

• 作者: 丁玉成 关宏武 卢秉恒 段玉岗 王权岱
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 图像畸变 校正 对正 压印光刻
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 信息科学
• 页码范围: 422-427
• 页数: 6页
• 分类号: TP391.4
• 字数: 3676字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.03.022

摘要

在综合分析了多种线性及非线性畸变后,建立了三次多项式图像系统畸变模型.采用基于控制点偏差目标函数最小优化法进行畸变模型的求解,并通过计算自标定偏差均方差与互标定偏差均方差对标定结果进行了评定.结果表明,模型求解误差为0.22 μm,通过校正标记图像几何畸变引入的定位误差由2.5 μm降低到0.25 μm,可实现压印对正系统中标记图像几何畸变的校正,实现精确定位.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢秉恒	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	387	5973	36.0	56.0
2	丁玉成	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	128	1941	23.0	39.0
3	段玉岗	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	54	368	13.0	16.0
4	王权岱	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	12	83	6.0	9.0
5	关宏武	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	1	13	1.0	1.0