一个集成电路后部工序的计算机辅助制造系统

• 作者: 向采兰 吴博 门永娟 黄海
• 来源期刊: 计算机工程与设计
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 计算机辅助制造 老炼筛选测试 数据库 事件触发器
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 计算机应用
• 页码范围: 2689-2692
• 页数: 4页
• 分类号: TP311
• 字数: 3835字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7024.2007.11.059

摘要

为了适合集成电路后部工序--老炼筛选测试工艺的生产管理特点,提高其生产效率,在前部工序IC-CAM系统基础上设计开发了新的集成电路制造后部工序计算机辅助制造系统.对老炼筛选测试工艺IC-CAM的系统结构,系统中的主体数据表结构及为保证数据完整性一致性的事件触发器的设计,以及部分界面设计技术等进行了详细分析与介绍.该系统已完成现场安装调试,投入试运行,所有功能达到预定设计要求,提高了IC后部工序的生产效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	向采兰	清华大学微电子学研究所	18	35	4.0	5.0
2	黄海	清华大学微电子学研究所	7	1	1.0	1.0
3	吴博	清华大学微电子学研究所	6	43	3.0	6.0
4	门永娟	清华大学微电子学研究所	1	0	0.0	0.0