基于SEMI标准的集成电路制造装备控制系统设计

• 作者: 邹龙庆
• 来源期刊: 电子质量
• 关键词: 集成电路制造装备 控制系统 SEMI标准
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 绿色质量观察
• 页码范围: 32-34,46
• 分类号: TP31|TP39
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0107.2012.02.011

摘要

随着集成电路制造装备的复杂度越来越高,设计一个符合SEMI标准的集成电路制造装置控制系统显得尤为重要。针对SEMI标准的要求,提出了一种控制系统的结构设计方法。设计的系统定义了SEMI标准中规定的控制模型与状态模型及其他操作,能够满足实际控制需要与SEMI标准的要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹龙庆	重庆邮电大学光电工程学院	1	0	0.0	0.0