纳米压痕仪和激光超声技术检测薄膜弹性模量

• 作者: Febo Menelao Konrad Herrmann 陈倩栎
• 来源期刊: 中国测试技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 弹性模量 纳米压痕技术 激光超声
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 计量技术与工程测试
• 页码范围: 77-81
• 页数: 5页
• 分类号: TH873.7+2
• 字数: 3280字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5124.2007.01.024

摘要

在薄膜材料的力学性能测定中,弹性模量是衡量材料软硬程度的重要指标.为了测定弹性模量,本文选取不同种类和厚度的金属薄膜材料,采用纳米压痕技术(nanoindentation)和激光超声技术(laser-acoustics)两种测试方法相互比较,以确保测试的准确性.两种方法在膜厚较大的试样测试中得到了大致相符的试验结果,相对误差最小达到2%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈倩栎	东南大学材料科学与工程学院	1	21	1.0	1.0