非超净条件下玻璃微流控芯片加工工艺

• 作者: 傅新 杨华勇 谢海波
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微流控芯片 湿法刻蚀 键合
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 机械与能源工程
• 页码范围: 560-563,569
• 页数: 5页
• 分类号: TN271
• 字数: 4091字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2007.04.005

摘要

为了解决玻璃微流控芯片加工工艺对专业实验室的依赖问题,提出了一种非超净环境下玻璃材料微加工工艺.该工艺包含湿法刻蚀和高温键合两项关键技术,针对刻蚀工艺中高刻蚀速率与高刻蚀表面质量兼具的工艺目标,研究了多种刻蚀剂成分及配比等条件对刻蚀效果的影响,并描述了具体工艺流程与工艺参数.在高温键合工艺试验中针对表面亲和处理、抽真空预键合以及键合温度时序控制等方面进行研究,重点讨论了非超净环境下高效预键合方法.结果表明,所研究的湿法刻蚀和高温键合两项工艺具有简单、高效、设备依赖性低等特点,突破了超净环境对玻璃微加工技术的限制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅新	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	119	2269	24.0	43.0
2	杨华勇	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	350	6927	43.0	64.0
3	谢海波	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	41	442	12.0	19.0