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推荐文章
光反馈自混合干涉位移实时跟踪测量算法改进
光反馈
自混合干涉
去噪
相位突变点
整数条纹
位移测量
激光速度干涉仪测量法在炸药圆筒试验中的应用
炸药
爆轰
圆筒试验
激光速度干涉仪
用大地电磁频谱测量法探测煤矿区陷落柱
大地电磁频谱测量
方法原理
陷落柱
煤层
电导率双频测量法鉴别地沟油
双频测量
电导率
地沟油
极化效应
电容效应
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 用于实时刻蚀深度控制的光干涉测量法
来源期刊 集成电路应用 学科
关键词
年,卷(期) 2007,(4) 所属期刊栏目 综合报道
研究方向 页码范围 59
页数 1页 分类号
字数 1224字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-2583.2007.04.021
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
总下载数(次)
15
总被引数(次)
4205
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