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用于实时刻蚀深度控制的光干涉测量法
用于实时刻蚀深度控制的光干涉测量法
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摘要：
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光反馈自混合干涉位移实时跟踪测量算法改进
光反馈
自混合干涉
去噪
相位突变点
整数条纹
位移测量
压电陶瓷微位移的光干涉测量与控制系统
微位移测量
压电陶瓷致动器
迈克尔逊干涉
光路放大
开环控制
基于温度测量法的光伏阵列失效组件监测系统的设计
热斑
失效
光伏组件
光反馈自混合干涉振动测量
振动测量
光反馈自混合干涉
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期刊影响力
集成电路应用
主办单位：
上海贝岭股份有限公司
出版周期：
月刊
ISSN：
1674-2583
CN：
31-1325/TN
开本：
16开
出版地：
上海宜山路810号
邮发代号：
创刊时间：
1984
语种：
chi
出版文献量（篇）
4823
总下载数（次）
15
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