变温蠕变实验的COP微流控芯片热压制备

• 作者: 刘冲 杨帆 王晓东 罗怡
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: COP微流控芯片 变温准蠕变实验 电泳效率
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1090-1095
• 页数: 6页
• 分类号: TH706|TN405
• 字数: 3174字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.07.016

摘要

采用热压方法制备了COP微流控芯片.由于温度对微结构热压成形的质量影响最大,基于材料的粘弹性特性,通过变温准蠕变实验获得热压参考温度Tr,即从材料玻璃点温度以下开始,以1.5℃/min的温升速率,在热压工作压力下热压聚合物基片,通过温度一位移实时采集系统获得材料的温度-形变曲线,曲线的拐点对应的温度即是热压参考温度.实验证明了在该温度下热压成形具有高复制精度和低整体变形,微结构宽度和深度方向的复制精度分别达到97.6%和94.3%.电泳实验和DNA分析实验得出COP芯片具有良好的生物兼容性,适用于生化分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗怡	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	53	695	13.0	25.0
2	王晓东	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	115	1141	19.0	28.0
3	刘冲	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	156	1345	17.0	30.0
4	杨帆	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	28	119	5.0	10.0