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摘要:
用扫描电镜(SEM)观察了化学沉积Ni-P合金薄膜/单晶硅基体的结构与颗粒度,利用X射线衍射(XRD)技术测试了其化学沉积后的残余应力,测量了激光热处理后残余应力的变化规律,分析了残余应力对磨损性能及界面结合强度的影响.实验结果表明,化学沉积Ni-P合金薄膜/硅基体的残余应力均表现为拉应力,经过激光热处理后残余应力发生了变化,由高值的拉应力变为低值的拉应力或压应力;薄膜残余应力对其磨损性能有明显的影响,其磨损量随着残余应力的减小而减小;薄膜与基体结合强度随着残余应力的增大而减小,合理地选择激光热处理参数可以精确地控制薄膜残余应力,提高其结合强度.
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显微硬度
组织形貌
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 激光热处理对化学沉积Ni-P合金薄膜性能的影响
来源期刊 中国激光 学科 物理学
关键词 薄膜 Ni-P合金薄膜 残余应力 激光热处理 X射线衍射法 磨损性能 界面结合强度
年,卷(期) 2007,(6) 所属期刊栏目 激光应用
研究方向 页码范围 871-875
页数 5页 分类号 O484
字数 2341字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.06.028
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 鲁金忠 江苏大学机械工程学院 62 480 14.0 19.0
2 张永康 江苏大学机械工程学院 219 3356 29.0 43.0
3 陈志刚 江苏工业学院机械工程系 90 1299 21.0 30.0
4 孔德军 江苏工业学院机械工程系 21 249 12.0 15.0
8 张雷洪 中国科学院上海光学精密机械研究所 4 52 4.0 4.0
传播情况
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引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
薄膜
Ni-P合金薄膜
残余应力
激光热处理
X射线衍射法
磨损性能
界面结合强度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国激光
月刊
0258-7025
31-1339/TN
大16开
上海市嘉定区清河路390号 上海800-211邮政信箱
4-201
1974
chi
出版文献量(篇)
9993
总下载数(次)
26
总被引数(次)
105193
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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