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激光热处理对化学沉积Ni-P合金薄膜性能的影响
激光热处理对化学沉积Ni-P合金薄膜性能的影响
作者:
孔德军
张永康
张雷洪
陈志刚
鲁金忠
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
薄膜
Ni-P合金薄膜
残余应力
激光热处理
X射线衍射法
磨损性能
界面结合强度
摘要:
用扫描电镜(SEM)观察了化学沉积Ni-P合金薄膜/单晶硅基体的结构与颗粒度,利用X射线衍射(XRD)技术测试了其化学沉积后的残余应力,测量了激光热处理后残余应力的变化规律,分析了残余应力对磨损性能及界面结合强度的影响.实验结果表明,化学沉积Ni-P合金薄膜/硅基体的残余应力均表现为拉应力,经过激光热处理后残余应力发生了变化,由高值的拉应力变为低值的拉应力或压应力;薄膜残余应力对其磨损性能有明显的影响,其磨损量随着残余应力的减小而减小;薄膜与基体结合强度随着残余应力的增大而减小,合理地选择激光热处理参数可以精确地控制薄膜残余应力,提高其结合强度.
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化学镀Ni-P合金
镀液成份
工艺装置
质量控制
热处理温度对Ni-P合金刷镀层组织形貌及显微硬度的影响
Ni-P合金镀层
刷镀
Ni3P相
显微硬度
组织形貌
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
激光热处理对化学沉积Ni-P合金薄膜性能的影响
来源期刊
中国激光
学科
物理学
关键词
薄膜
Ni-P合金薄膜
残余应力
激光热处理
X射线衍射法
磨损性能
界面结合强度
年,卷(期)
2007,(6)
所属期刊栏目
激光应用
研究方向
页码范围
871-875
页数
5页
分类号
O484
字数
2341字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:0258-7025.2007.06.028
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
鲁金忠
江苏大学机械工程学院
62
480
14.0
19.0
2
张永康
江苏大学机械工程学院
219
3356
29.0
43.0
3
陈志刚
江苏工业学院机械工程系
90
1299
21.0
30.0
4
孔德军
江苏工业学院机械工程系
21
249
12.0
15.0
8
张雷洪
中国科学院上海光学精密机械研究所
4
52
4.0
4.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(38)
共引文献
(25)
参考文献
(15)
节点文献
引证文献
(20)
同被引文献
(30)
二级引证文献
(72)
1974(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1982(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1986(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1992(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1993(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1994(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1996(4)
参考文献(1)
二级参考文献(3)
1997(6)
参考文献(3)
二级参考文献(3)
1998(4)
参考文献(1)
二级参考文献(3)
1999(4)
参考文献(2)
二级参考文献(2)
2000(4)
参考文献(0)
二级参考文献(4)
2001(6)
参考文献(2)
二级参考文献(4)
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参考文献(1)
二级参考文献(2)
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参考文献(1)
二级参考文献(6)
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参考文献(0)
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二级引证文献(0)
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二级引证文献(2)
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引证文献(3)
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二级引证文献(8)
2011(8)
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2014(9)
引证文献(2)
二级引证文献(7)
2015(7)
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2016(7)
引证文献(0)
二级引证文献(7)
2017(8)
引证文献(3)
二级引证文献(5)
2018(5)
引证文献(1)
二级引证文献(4)
研究主题发展历程
节点文献
薄膜
Ni-P合金薄膜
残余应力
激光热处理
X射线衍射法
磨损性能
界面结合强度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国激光
主办单位:
中国光学学会
中科院上海光机所
出版周期:
月刊
ISSN:
0258-7025
CN:
31-1339/TN
开本:
大16开
出版地:
上海市嘉定区清河路390号 上海800-211邮政信箱
邮发代号:
4-201
创刊时间:
1974
语种:
chi
出版文献量(篇)
9993
总下载数(次)
26
总被引数(次)
105193
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
期刊文献
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