半导体材料在传感器中的应用

• 作者: 戴英杰
• 来源期刊: 吉林工程技术师范学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体材料 传感器 应用
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 自然科学
• 页码范围: 63-64
• 页数: 2页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 1766字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9042.2007.09.023

摘要

Sio2薄膜是一种新型的、性能优良的半导体材料.本文主要介绍Sio2薄膜在各种传感器中的应用,并对该材料的发展趋势进行展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴英杰	吉林师范大学应用工程学院	3	1	1.0	1.0