光学元件表面缺陷的显微散射暗场成像及数字化评价系统

• 作者: 刘东 李瑞洁 杨李茗 杨甬英 梁蛟 陆春华
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 表面疵病 显微散射成像 形态学
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 1031-1038
• 页数: 8页
• 分类号: TH741.8
• 字数: 5463字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2007.06.015

摘要

根据国际ISO10110-7的表面缺陷标准及惯性约束聚变(ICF)工程标准,提出了一种新颖的光学元件表面缺陷的光学显微散射成像及数字化评价系统,多束光纤冷光源呈环状分布并以一定角度斜入射到数毫米视场的被检表面,形成适合数字图像二值化处理的暗背景上的亮疵病图像.对X,Y两方向进行子孔径图像扫描成像,利用模板匹配原理对获得的子孔径图像进行拼接得到全孔径表面疵病图像信息.基于数学形态学建立了可用于大口径表面检测扫描的图像处理的模式识别软件体系,并应用二元光学制作了标准对比板,以获得疵病正确的评价依据.最终利用该变倍光学显微镜散射成像系统得到能分辨微米量级表面疵病的图像,其单个子孔径物方视场约为3 mm,对X,Y两方向进行5×5子孔径图像扫描成像,并给出了与标准比对的定量数据结果.实验结果表明,本系统完全可以实现光学元件表面缺陷的数字化评价.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘东	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	45	454	12.0	20.0
2	陆春华	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	9	272	7.0	9.0
3	杨甬英	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	44	354	11.0	18.0
4	杨李茗	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	9	145	6.0	9.0
5	梁蛟	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	1	75	1.0	1.0
6	李瑞洁	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	2	75	1.0	2.0