加速度对激光双频干涉仪测量误差的影响

• 作者: 张志平 朱健强 程兆谷 覃兆宇
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 激光双频干涉仪 加速度 累积误差 多普勒频移
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 694-698
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.3|TN247
• 字数: 3040字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.05.017

摘要

为了减少由于加速度所导致的激光双频干涉仪测量误差,引入二阶多普勒频移,建立了由被测物体加速度所引起的测量误差的理论模型.仿真结果表明,在0.4s时间内0.6g加速度所引起的累积误差可达2.5 nm左右,这对于纳米精度的测量是不应忽视的;初速度不为零时加速运动会引起更大的误差,而减速运动所引起的误差则相对小.通过实验验证,所测的误差变化趋势与理论模拟比较吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程兆谷	中国科学院上海光学精密机械研究所	36	430	13.0	20.0
2	朱健强	中国科学院上海光学精密机械研究所	147	1132	17.0	31.0
3	覃兆宇	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	37	2.0	2.0
4	张志平	中国科学院上海光学精密机械研究所	36	245	8.0	15.0