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表面波等离子体激励源设计
表面波等离子体激励源设计
作者:
徐灵飞
柳健
王世庆
陈建国
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
表面波
等离子体
激励源
摘要:
本文设计了频率及输出功率可调的表面波等离子体激励源,ADF4360-7产生850MHz~950MHz频率的振荡信号,ADL5330、两级功率放大器、AD8318和C8051F020控制输出功率.实现了表面波等离子体的激发.
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文献信息
篇名
表面波等离子体激励源设计
来源期刊
电子设计应用
学科
工学
关键词
表面波
等离子体
激励源
年,卷(期)
2007,(10)
所属期刊栏目
通信与计算机
研究方向
页码范围
84-86
页数
3页
分类号
TP3
字数
2348字
语种
中文
DOI
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等离子体
激励源
研究起点
研究来源
研究分支
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期刊影响力
电子设计应用
主办单位:
中国科技信息研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1672-139X
CN:
11-4916/TN
开本:
大16开
出版地:
北京市
邮发代号:
82-839
创刊时间:
2002
语种:
chi
出版文献量(篇)
3145
总下载数(次)
1
总被引数(次)
7284
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