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篇名 日本MEMS国内市场2015年发展趋势
来源期刊 半导体信息 学科 经济
关键词 发展趋势 MEMS 纳米电子 一体化技术 为光 纳米技术 单功能 增长速度 第三代 叠层
年,卷(期) 2007,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 7-8
页数 2页 分类号 F416.63
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发展趋势
MEMS
纳米电子
一体化技术
为光
纳米技术
单功能
增长速度
第三代
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研究起点
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期刊影响力
半导体信息
双月刊
16开
南京市1601信箱43分箱(南京市中山东
1990
chi
出版文献量(篇)
5953
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11
总被引数(次)
664
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