一种可实现薄膜厚度在线测量的方法

• 作者: 卢永军 宋敏 曲艳玲 郑亚茹
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学方法 薄膜厚度 在线测量
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 447-449
• 页数: 3页
• 分类号: O439
• 字数: 2123字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2007.03.012

摘要

介绍了一种测量固体薄膜厚度的光学方法.该方法具有测量速度快、可实现在线测量等特点.为解决薄膜生产过程中厚度在线检测问题,构造了一套软硬件实验系统,利用该系统进行实验的结果表明:在10～100μm厚度范围,测量误差小于10%,满足实际生产需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曲艳玲	大连民族学院光电子技术研究所	25	251	6.0	15.0
2	宋敏	大连民族学院光电子技术研究所	24	445	9.0	21.0
3	郑亚茹	辽宁师范大学物理系	30	308	7.0	17.0
4	卢永军	大连民族学院光电子技术研究所	3	35	3.0	3.0