减成法制造精细线路

• 作者: 李明
• 来源期刊: 印制电路资讯
• 学科: 工学
• 关键词: 工艺制造 精细线路 表面蚀刻 蚀刻速率 干膜抗蚀剂 精细图形 非均匀性 专用设备
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 页码范围: 82-87
• 页数: 6页
• 分类号: TN41

摘要

一、绪言 用减成法工艺制造精细图形受到一定的限制，这是因为在蚀刻过程中，不可避免地产生侧蚀现象。这是蚀刻速率通过表面蚀刻的非均匀性所致（见图1所示），除此之外，印制板的顶面和底面蚀刻速率也不相同。因此，就需要对减成法工艺从蚀刻过程、蚀刻使用的专用设备、化学药品和干膜抗蚀剂的成果的发展，