空间平均的角度散斑相关粗糙度测量模拟研究

• 作者: 刘恒彪 李同保 王婧
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 表面粗糙度 激光散斑 角度散斑相关方法 空间平均 散射场模拟
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 259-264
• 页数: 6页
• 分类号: TH741
• 字数: 6157字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2007.02.013

摘要

角度散斑相关是一种不受表面粗糙度轮廓的间距特性影响的粗糙度幅度参量测量方法,它的数学模型通常建立在集平均的基础上.通过模拟计算随机粗糙表面的远场散斑场,以散斑图面上的空间平均代替常规的集平均来计算角度散斑相关系数,并应用集平均的数学模型反演粗糙度参量.结果证实了这种空间平均角度散斑相关粗糙度测量方法的有效性,在同一表面只需对少数个区域进行测量并对测得的粗糙度参量取平均,即可获得足够的测量精度.对于Rq大于2.0 μm的表面,测量相对误差小于15%.根据最佳测量条件,该方法适用于大粗糙度表面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李同保	同济大学理学部	41	130	7.0	8.0
2	王婧	同济大学理学部	31	329	10.0	17.0
3	刘恒彪	同济大学理学部	14	46	5.0	6.0