一种基于平板横向剪切干涉的角位移测量方法

• 作者: 王向朝 郑德锋
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 角位移测量 剪切干涉 平行平板
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 1125-1129
• 页数: 5页
• 分类号: TH741.2
• 字数: 2497字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.08.022

摘要

在一种已有的角位移干涉测量技术的基础上,提出一种改进的角位移测量方法.通过选择合适的初始人射角,使从平板前后表面反射的两光束实现剪切干涉.采用一维位置探测器测量光束经透镜会聚后在探测器光敏面上的光点偏移量.根据干涉信号的相位和光点偏移量可以计算出被测物体的角位移.在该测量方案中,引入的一平面反射镜与被测物体的反射面形成光程差放大系统,提高了角位移测量灵敏度.分析了初始入射角对剪切比的影响,并讨论了基于该方案的角位移测量精度.实验结果表明,基于该技术的角位移重复测量精度达到10-8 rad数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	170	1628	23.0	35.0
2	郑德锋	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	5	61	5.0	5.0