扫描隧道显微镜精密工作台及其控制技术研究

• 作者: 宋会英 张玉林 郝慧娟 魏强
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 扫描隧道显微镜(STM) 精密工作台 压电陶瓷 神经网络 BP算法 PID控制
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 193-197
• 页数: 5页
• 分类号: TH74
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2007.02.017

摘要

针对扫描隧道显微镜工作台高精度控制的需求,设计了一种基于神经网络理论的控制系统,其微位移工作台由压电陶瓷驱动器和柔性铰链机构组成.在对驱动器结构进行分析的基础上,建立了工作台的数学模型.以三层神经网络自学习PID控制器代替常规PID控制器,实现了样本的在线采集和优化,有效地克服了神经网络控制器需要离线训练的缺点;采用BP算法对神经网络进行在线训练,增强了系统的实时控制性能.实验结果表明,10μm下的过渡时间从3.25s缩短到1.6s,稳态误差从2.78%减小到1.39%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉林		56	465	11.0	19.0
2	魏强		14	155	7.0	12.0
6	宋会英		7	134	6.0	7.0
7	郝慧娟		5	49	3.0	5.0