棱镜耦合法的理论改进与实验设计

• 作者: 肖丙刚 胡骏
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 导波光学 棱镜耦合法 色散方程 Newton-Raphson方法 传输矩阵法
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 计算机技术、电信技术
• 页码范围: 2040-2043
• 页数: 4页
• 分类号: TN25
• 字数: 2384字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2007.12.019

摘要

为了能更精确地测量薄膜厚度及其折射率,介绍了一般棱镜耦合法的测量理论和实验方法,分析了一般的棱镜耦合法测量模型本身存在的理论误差.从测量理论上对棱镜耦合法进行了改进,提出了精确测量模型,减小了上述理论误差,同时给出了薄膜参数的简便计算方法,从理论上分析了薄膜参数计算方法的误差.用传输矩阵的方法进行了模拟论证,设计了实验装置,测量了在玻璃基底上甩胶法得到的Su-8薄膜,测量结果表明,改进的精确测量模型减小了测量误差,提高了测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖丙刚	中国计量学院信息工程学院	31	101	6.0	8.0
3	胡骏	浙江大学光及电磁波研究中心	8	38	3.0	6.0