多轴激光位移测量同步采样技术

• 作者: 周云飞 李小清 潘海鸿
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 激光位移测量 纳米级精度 同步采样
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 页码范围: 89-92
• 页数: 4页
• 分类号: TP274
• 字数: 1935字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2007.03.027

摘要

采用基于广播总线的同步采样技术,提出6轴高精密XY工件台激光位移测量的同步测量架构.设计专门的同步动作控制器和同步信号总线,实现6轴激光位移测量系统的同步采样,提高了数据采样频率.结果表明:6个激光测量轴之间的同步采样时间误差最大为1.616ns,并由此引起的位移测量误差是0.808nm;在硬件读取数据方式下,6个激光测量轴最高采样频率可达640kHz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周云飞	华中科技大学机械科学与工程学院	140	2386	28.0	40.0
2	李小清	华中科技大学机械科学与工程学院	24	366	12.0	19.0
3	潘海鸿	华中科技大学机械科学与工程学院	86	402	11.0	15.0