钛膜的电解抛光技术研究

• 作者: 张素银 李朝阳 杜凯 谢军 邢丕峰 郑凤成
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 其他
• 关键词: 电解液 电解抛光 钛膜 表面粗糙度 表面形貌
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1479-1482
• 页数: 4页
• 分类号: O84.5
• 字数: 1297字
• 语种: 中文

摘要

分析了硫酸、硝酸、氢氟酸;硫酸、乙酸、氢氟酸;乙醇、正丁醇、氯化锌、氯化铝;高氯酸、乙酸;硫酸、甲醇这5种不同电解液组成对钛薄膜表面粗糙度、表面形貌的影响,得出硫酸、甲醇混合溶液是一种较理想的电解液体系.设置合适的抛光电压、温度、时间、泵速等工艺参数,制备出了表面平整光滑,平均粗糙度小于30 nm的钛膜.分析了硫酸、甲醇电解液阳极电压与试样表面减薄速率的关系:试样的减薄速率开始随电压的升高而增大;当电压达到28～34 V时,减薄速率随电压变化很慢,当电压继续增大时,减薄速率又会迅速增大,金属膜继续溶解.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜凯	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	72	527	11.0	19.0
2	邢丕峰	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	59	303	9.0	14.0
3	谢军	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	22	164	8.0	12.0
4	李朝阳	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	25	184	9.0	12.0
5	郑凤成	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	15	75	4.0	8.0
6	张素银	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	3	91	3.0	3.0