基于UV-LIGA技术的电涡流传感器研制

• 作者: 朱荻 郑晓虎
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: UV-LIGA 微平面线圈 电涡流 电铸镍铁合金
• 年，卷（期）: 2007,（18）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 2156-2159
• 页数: 4页
• 分类号: TH878
• 字数: 2636字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132x.2007.18.004

摘要

提出一种用于检测微位移的新型电涡流传感器.该传感器中,两层微平面线圈叠加在坡莫合金铁芯上,分别作为驱动元件与敏感元件.详细给出了微平面线圈的SU-8胶UV-LIGA工艺与磁性铁芯的电铸成形工艺.当激励电流为50kHz的正弦交流信号,而且检测Ni-Fe片与铁芯间隙为10μm时,敏感线圈的输出电压达30mV,并且间隙值在50μm 范围内与输出电压接近为线性关系.传感器尺寸为 5mm×1.6mm,易于集成,能实现对微位移的检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑晓虎		11	102	6.0	10.0
5	朱荻		237	3580	30.0	43.0