对综合应用PSD、CCD的双三角探头的研究

• 作者: 刘宇波 吴易明 朱立峰 赵天宇 陈良益
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 双三角探头 PSD CCD 分辨率 线性度
• 年，卷（期）: 2007,（21）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 5679-5680,5726
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.14
• 字数: 1297字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1815.2007.21.054

摘要

论述了PSD和CCD应用于双三角探头的初步设计思路,详细介绍了二者的信号处理电路,并且对二者在应用于位置测量的各方面的性能进行了对比.最后,提出了需要解决的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴易明	中国科学院西安光学精密机械研究所	30	243	10.0	14.0
2	陈良益	中国科学院西安光学精密机械研究所	99	1185	17.0	29.0
3	赵天宇	中国科学院西安光学精密机械研究所	10	72	5.0	8.0
7	朱立峰	中国科学院西安光学精密机械研究所	18	50	4.0	7.0
11	刘宇波	中国科学院西安光学精密机械研究所	6	66	4.0	6.0