国内首条碳化硅晶片中试生产线建成

• 作者: 谭智实
• 来源期刊: 功能材料信息
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅 硅晶片 生产线 自主知识产权 晶体生长工艺 化学机械抛光
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 46
• 页数: 1页
• 分类号: TN304.12

摘要

据报道，中科院物理研究所与北京天科合达蓝光半导体有限公司合作研发出了具有自主知识产权的第二代碳化硅晶体生长炉，进一步优化了具有自主知识产权的碳化硅晶体生长工艺，使晶体质量的稳定性和产率得到提高。同时，在国内建立了首条完整的从切割、研磨到化学机械抛光的碳化硅晶片中试生产线，建成了百级超净室，并开发出碳化硅晶片表面处理，清洗、封装等工艺技术，使产品达到了即开即用的水准。