基于表面形貌空间频率特征的AFM操作模式

• 作者: 王岳宇 褚巍 赵学增
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 操作模式 线宽测量 空间频率
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 293-296
• 页数: 4页
• 分类号: TP273+.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2008.04.011

摘要

恒力模式和恒高模式是原子力显微镜的两种主要操作模式.前一种模式通常用于成像在垂直方向变化大的表面,但仅对低空间频率表面有效.后一种模式仅对光滑表面在高分辨率高扫描速度下的成像有用.为克服这些缺点,提出了组合恒高和恒力的新操作模式.使用这个模式,表面形貌的低空间频率成分利用垂直压电扫描器及其控制信号跟踪并测量,高空间频率成分利用悬臂信号测量.然后,表面形貌图像利用组合低频和高频成分得到.仿真结果证明了这种新的操作模式具有高速和高分辨率的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵学增	哈尔滨工业大学机电工程学院	133	1496	19.0	30.0
2	褚巍	哈尔滨工业大学机电工程学院	17	111	6.0	9.0
3	王岳宇	哈尔滨工业大学机电工程学院	5	102	3.0	5.0