复杂惯性敏感结构的矩阵解析建模方法

• 作者: 苏伟 高杨
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微惯性器件 挠性支承结构 解析模型
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 30-32,36
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2422字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.09.010

摘要

微惯性器件的性能首先取决于其挠性支承结构的力学性能.高精度微惯性器件的需求与微加工的普及,使得微惯性器件的挠性支承结构趋向复杂,但主要体现为组合复杂性,提出了矩阵解析建模方法,论述了该方法的基本概念、刚度矩阵与弹性矩阵的坐标系变换和集总计算等问题,并结合实例简要说明了应用矩阵解析建模方法的基本步骤.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	苏伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	92	541	12.0	16.0