粉尘等离子体的研究

• 作者: 尹盛 李战春 王敬义 赵亮
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: 硅粉纯化 等离子体稳定性 刻蚀速率 太阳级硅
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 37-39
• 页数: 3页
• 分类号: TN304

摘要

在实验和理论上研究了粉粒在等离子体鞘区的沉降、带电、收集和刻蚀。基于粉尘对等离子区电子能量分布函数的影响，讨论了粉尘对等离子体的干扰。有关结果表明等离子体对硅粉的纯化处理有可能应用于将工业硅直接制成太阳级硅。