四象限光电探测器用于表面形貌测量的研究

• 作者: 常素萍 王淑珍 王选择 谢铁邦
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 四象限光电探测器 干涉条纹 前置放大 表面形貌
• 年，卷（期）: 2008,（19）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 2348-2351
• 页数: 4页
• 分类号: TG84|TN207
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2008.19.018

摘要

提出了一种PIN田字形四象限光电探测器接收激光干涉条纹的空间布置方法.利用积分分析法分析了在理想干涉条纹下,条纹宽度d和条纹旋转角度β与光电探测器差分信号幅值和相差的关系,并给出了满足正交条件的合适的条纹宽度d以及对应的条纹旋转角度β.设计了PIN型四象限光电探测器用于三维表面形貌测量的前置放大电路.实验应用结果表明,PIN型四象限光电探测器的差分信号能满足计数和细分要求,用于拾取激光干涉条纹能达到纳米级分辨率,能满足微纳米表面形貌测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢铁邦		92	848	17.0	24.0
2	王淑珍		13	70	4.0	8.0
4	王选择		53	208	8.0	11.0
7	常素萍		20	145	6.0	11.0