四象限光电探测器高温输出自激失效分析

• 作者: 何凌空 高勇
• 来源期刊: 西安理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 四象限探测器 输出自激 反型 失效分析
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 192-196
• 页数: 5页
• 分类号: TH765.2|TG502
• 字数: 2976字
• 语种: 中文

摘要

针对某型激光导引头所用的四象限光电探测器高温环境试验过程中出现的输出自激失效现象,确定了失效物理模型和失效模式,搭建了失效现象复现测试电路,通过半破坏性开封、光学镜检和波谱分析,提出探测器光敏面沟阻隔离区在工艺过程受离子污染,使沟阻隔离区反型是导致四象限光电探测器输出自激的根本原因.根据光电探测器光敏面隔离区表面反型产生输出自激的失效机理,针对电极膜真空蒸镀工艺引入有害离子的具体原因,对电极膜制作工艺路线进行了改进.经 生产实践证明,改进后的工艺方法可有效消除该类失效模式的产生.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高勇	西安理工大学自动化与信息工程学院	189	1184	15.0	26.0
2	何凌空	西安理工大学自动化与信息工程学院	1	0	0.0	0.0