重复图案晶片自动检测新方法

• 作者: 刘润予 吴黎明 崔山领 王立萍
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: IC晶片 自比较模板匹配 自动检测 ESPRIT算法
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 全国第六届精密工程学术研讨会专栏
• 页码范围: 925-930
• 页数: 6页
• 分类号: TN305
• 字数: 2955字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.05.027

摘要

针对具有重复图案阵列的IC晶片结构特征,提出了一种基于旋转不变子空间技术(ESPRIT)算法的自比较模板匹配缺陷检测方法.应用ESPRIT算法精确计算出重复图案中结构块的大小,然后将图像中所有结构块对应位置的像素值平均,计算出标准结构块.再根据显微镜视野大小扩展标准结构块形成标准模板,通过比对实现缺陷检测.实验结果表明:采用ESPRIT算法求取结构块大小,具有较高的速度和精度,能够满足IC检测实时性要求.算法的计算复杂度为O(N3/2),精度可达到0.04 pixel.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴黎明	广东工业大学信息工程学院	107	764	12.0	22.0
2	王立萍	广东工业大学信息工程学院	10	83	6.0	9.0
3	刘润予	广东工业大学信息工程学院	4	22	2.0	4.0
4	崔山领	广东工业大学信息工程学院	1	12	1.0	1.0