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聚焦离子束研磨Au—Ti—GaAs薄膜引起损伤的研究
聚焦离子束研磨Au—Ti—GaAs薄膜引起损伤的研究
作者:
徐天伟
杨卫国
杨海
谢雪冰
谭勇文
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
聚焦离子束
非晶层
蒙特卡罗方法
光电子器件
摘要:
通过分析纳米孔的透射电子显微镜(TEM)截面图像和蒙特卡罗理论模拟,研究了聚焦离子柬(FIB)研磨Au-Ti-GaAs薄膜的基本性能。应用蒙特卡罗方法模拟FIB研磨三层薄膜的损伤深度与离子能量大小的关系,由于材料不同的阻止本领和晶体结构等因素对损伤深度的影响,随着离子能量的增大,损伤深度并非线性增加。同时,溅射物质的重沉积也影响着纳米孔的形貌,对此也作了系统的分析和探讨。
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篇名
聚焦离子束研磨Au—Ti—GaAs薄膜引起损伤的研究
来源期刊
材料导报:纳米与新材料专辑
学科
物理学
关键词
聚焦离子束
非晶层
蒙特卡罗方法
光电子器件
年,卷(期)
2008,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
75-77
页数
3页
分类号
O346.5
字数
语种
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材料导报:纳米与新材料专辑
主办单位:
重庆西南信息有限公司(原科技部西南信息中心)
出版周期:
半年刊
ISSN:
1005-023X
CN:
50-1078/TB
开本:
出版地:
重庆市渝北区洪湖西路18号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
2553
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