基于引擎机制的PECVD工作过程的虚拟仿真

• 作者: 李大磊 王栋 胡书杰 马小峰
• 来源期刊: 郑州大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 虚拟现实 等离子体增强化学汽相沉积 过程仿真 引擎机制
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 54-58
• 页数: 5页
• 分类号: TP391
• 字数: 2652字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-6833.2008.03.014

摘要

讨论了卧式PECVD的工作原理,对虚拟加工过程中仿真实现的关键技术进行了研究.基于Open Inventor开发平台强大的引擎机制,用程序实现了连续式等离子体增强化学汽相沉积(PECVD)系统(In-line PECVD System)的虚拟加工工作过程的仿真,从而保证物理样机的设计成功率、减少物理样机的设计与试制时间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李大磊	郑州大学机械工程学院	63	249	8.0	13.0
2	王栋	郑州大学机械工程学院	77	246	8.0	10.0
3	马小峰	郑州大学机械工程学院	1	7	1.0	1.0
4	胡书杰	郑州大学机械工程学院	3	14	2.0	3.0