基于声表面波技术的数字微流体微加热器研究

• 作者: 刘尉悦 章安良 蒋志迪 费景臣
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 数字微流体 叉指换能器 微加热器 反射栅
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 411-415
• 页数: 5页
• 分类号: TN65|TH703
• 字数: 2970字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.07.008

摘要

设计了在128°旋转Y切割X传播方向LiNbO2基片上研制了数字微流体微加热器.它由压电基片上两个叉指换能器构成,当由功率放大器放大后的射频电信号加到叉指换能器时,其激发的声表面波经微流体后转化为径向表面波,并辐射入微流体达到加温效果.停止加电信号后,微流体能量向外界辐射迅速降温.采用2μL的甘油微液滴进行升温实验,结果表明:微流体温度变化由外加电信号强度和持续时间决定,在电信号强度为19 V时,微流体的温度上升速率为1.5℃/s,与理论6.2℃/s结果基本相符.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章安良	宁波大学信息学院	47	92	5.0	5.0
2	费景臣	宁波大学信息学院	9	18	3.0	4.0
3	蒋志迪	宁波大学信息学院	31	110	7.0	8.0
4	刘尉悦	宁波大学信息学院	26	71	5.0	6.0